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大面积铁电薄膜制备设备
信息来源： ******[查看]
|地区：广东
|类型：采购公告
基本信息
信息类型：采购公告
区域：广东
源发布时间：2025-12-16
项目名称：******[查看]
招标单位：******[查看]
*符合收录标准*
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一、基本信息
竞价编号：JJ******320660
项目名称：大面积铁电薄膜制备设备
项目预算(元)：248,000.00 报价方式： 总价报价
******大学 联系人：******
最少有效报价家数：3 联系电话：******
联系手机：****** 电子邮箱：******
异议反馈：******
开始时间：2025-12-16 10:32:46 截止时间：2025-12-23 10:32:06
报价文件要求：本项目要求报价时上传相关文件
报价方式说明：
总价报价：要求供应商按照清单进行分项报价并乘以数量汇总计算出总价。
单价报价：要求供应商按照清单进行分项报价并汇总计算出单价合计价。 【注意：采购数量为1个的单一产品，一般适用于总价报价，而非单价报价】 下浮率报价：以百分比表示，要求供应商进行统一下浮率报价，计算方式为预算*（1-下浮率）
【举例：预算为10000元，所报下浮率为10%，则成交价为10000*（1-10%）=9000元】 【选择此报价方式则产品数量应填写为1】 折扣报价：以百分比表示，要求供应商进行统一折扣报价，计算方式为预算*折扣
【举例：预算为10000元，所报折扣为9折（表示为90%），则成交价为10000*90%=9000元】【选择此报价方式则产品数量应填写为1】 拍卖报价：要求供应商按照清单进行分项报价并乘以数量汇总计算出总价，价高者中。
二、资格条件
资格条件：无
三、商务要求
付款方式：合同签订并收到发票后5个工作日内，支付合同金额的30%；验收通过并收到发票后20个工作日内，支付剩余合同金额。
履约保证金： 无需履约保证金
交付时间： 合同签订后45个工作日内交付
******大学城校区理5栋533。
质保期及售后要求：1. 质保期：中标人对本合同标的提供1年质保期（费用包含在投标报价中），3年 免费维护保养，对由于设计、制造工艺、材料和安装所造成的质量缺陷或质量问题 负责，并进行修理、更换零部件或退换，并须对设备出现的有关技术性问题或安全 问题负责处理、解决，同时中标人应相应延长被更换货物的质保期，软件提供终身 升级，质保期自货物验收合格之日起计算。质保期内提供现场保修、包换或包退服 务，由此产生的一切费用均由中标人承担。中标人不能修复、调换或不能退货的， 应退回相应货款，并承担相应违约责任。 2.中标人应有专职工程师负责对所售产品安装，调试，培训，维修和处理。质保期 内，在接到系统故障或问题告知后，中标人响应时间不得超过24小时，到达现场 时间不得超过48小时，并应在72小时（前述响应及到达现场时间已包含计算在 内）内排除故障。否则视为中标人不能修复货物。如果需要更换配件的，中标人须 在5个工作日内完成配件更换服务，且更换的配件跟被更换的品牌、类型相一致或 者是同类档次相当或更高的替代品，后者需征得采购人管理人员同意。如果故障在 前述时间内仍无法排除，中标人应无条件在5个工作日内提供不低于故障设备规格 型号档次的备用设备供采购人使用，直至故障设备修复。 3.质保期内，同一硬件一个月内连续2次出现同一故障，中标人应无条件更换性能 指标不低于原规格型号的新部件。严重影响教学工作的，中标人无条件提供不低于 该档次的设备给采购人使用。 4.质保期满后设备维修仅收取配件成本费，不收取上门费及人工费。中标人承诺配 ******学校。 5.培训：中标人负责提供合同标的现场操作、运行、维护、修理的培训方案及必需的 培训资料，并对采购人受训人员进行现场培训直至能熟练操作为止，培训次数不少 于1次，每次培训应配置不少于1个工程师，培训天数应不少于1天，培训期间工 程师的食宿由中标人负责。培训内容应至少包括：设备的操作使用和保养；设备安 全注意事项；设备简易故障排除等。在后期使用过程中，如需增加培训环节，中标 人负责根据采购人需要提供培训服务。以上相关费用已包含在投标报价中。
其他要求：气泵若在10年内损坏，中标人应免费维修或更换。
备注：暂无
四、技术要求
序号 标的名称 数量 计量单位 生产厂商/品牌 型号规格 是否限定品牌 技术要求
1 高温磁控溅射镀膜系统 1.00 台 普迪 PD-300C 是 1. 极限真空：≤5×10-5Pa（经烘烤除气后）； 2. 抽速测试：从大气抽到工作真空（8×10-4Pa）时间≤25 分 钟（氮气破真空）； 3. 系统漏率：≤2x10-8Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考 核）； 4. 系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压12 小时后真空 度≤10Pa; 5. 基片加热：衬底最高加热温度≥800℃, 精度≤±1°C； 6. 溅射尺寸：衬底基片最大4 英寸，兼容4 英寸、2 英 寸、Φ45mm、Φ30mm，以及小尺寸方形片（对角线长度小于 45mm）。基片旋转速度：0～30rpm 连续可调； 7. 成膜质量：托盘4 英寸范围内均匀性≤±5%； 8. 优质304 不锈钢真空室，尺寸不小于350mm（宽）× 350mm（深）× 380mm（高），最终以实际设计尺寸为准，内外 部电抛光处理； 9. 底部安装3 套靶枪及挡板转轴，真空室顶部及底部有备用 法兰接口； 10.可拆卸不锈钢内衬； 11.设备带支撑地脚和滚轮； 12.分子泵抽速≥700L/S，机械泵抽速≥6L/S； 13.全量程真空计（量程从大气到3E-9torr）; 14.3路进气，流量计最大流量不小于200/100/50sccm； 15.3个2 英寸圆形靶枪；靶枪带一个独立的电控气动挡板； 16.1个直流电源，功率≥500W； 17.2个射频电源，功率≥600W； 18.直径4 英寸工件台，转速0-30RPM 可调节， 转轴磁流体密 封，最高加热温度室温至800 度精度: ±1°C，配备基片挡 板，电控气动。 19. 系统应至少包含以下配置：脂润滑分子、高真空阀门、机械泵、真空计、小阀门、气体质量流量计、自动匹配射频电源、磁控靶枪、直流电源、靶挡板、样品台、恒压控制系统、电气控制系统、循环水机、气泵、薄膜规等。
五、附件
序号 附件名称 上传时间 大小 操作
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快照：2025-12-16
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